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再生循环解决方案

再生循环解决方案

工艺介质在半导体产业的部分制程中利用率较低,导致关键材料的浪费。同时,多数工艺介质为有害介质,排放时易造成环境污染。
365完美体育(中国)官网科技基于气体、化学品的控制和纯化技术,向客户提供通过回收废弃物内高价值产品经纯化后循环使用的方案。

气体回收循环系统

采用先进的膜分离、催化吸附和低温精馏等技术,将尾气中的氦气、氩气等回收并提纯到99.999%,返回工艺使用。回收率可达90%以上。系统包括气体收集、压缩、初级纯化、二级纯化、分析检测、泄漏侦测、自动控制等。系统能耗低、稳定性强、维护成本低、占地面积小、安全保障高。

有机溶剂回收循环系统

相对于精馏技术,膜分离无相变、常温操作、能耗低、安全系数高、结构紧凑、便于模块化集成和放大,可在客户现场对有机溶剂回收、提纯和循环利用,为客户节省原料成本。365完美体育(中国)官网科技有机溶剂膜分离技术,比传统精馏成本降低30%,并有效去除有机溶剂中的金属离子和聚合物颗粒等杂质,将废弃有机溶剂提纯到99.9%以上,回收率超90%。

废酸回收循环系统

365完美体育(中国)官网科技针对太阳能电池片制绒液与刻蚀液废酸回收循环利用的市场需求,经过多年的理论研究和实验验证,掌握了电子级化学品的浓缩、提纯、混配、浓度检测等关键技术,可以向客户提供废酸回收循环系统从设计、制造、安装、调试到运行服务的交钥匙工程服务。

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